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机械、混合和磁悬浮高真空泵
涡轮分子真空泵用于需要清洁高真空或超高真空的应用，例如核聚变的研究与开发，或涂层工业和分析仪器等工业领域。
原则上，涡轮分子泵是在壳体中快速旋转的涡轮机，其中涡轮机的级装有多个转子叶片。位于旋转转子叶片之间的是固定的定子盘，其叶片以相反的方向排列。
通过从旋转转子叶片到气体分子的动量传递，气体分子最初非定向热运动转变为从泵的入口法兰沿轴向前真空法兰的方向运动。
在分子流动范围内（即在压力低于 10-3毫巴 （0.75 x 10-3Torr）） 气体分子的平均自由程大于转子和定子叶片之间的间距（通常为零点几毫米）。相应地，分子主要与光学致密的转子叶片碰撞，从而产生高效的泵送作用。在层流（恒定）流量范围内（即压力超过 10-1毫巴 （0.75 x 10-1Torr））转子的效果因分子本身之间的频繁碰撞而受损。
因此，涡轮分子泵无法在大气压下泵送气体。
Oerlikon Leybold TURBOVAC i
模块化涡轮分子真空泵系列，抽速从 90 到 1450 l/s。
TURBOVAC 90 i/iX
4 种变体
抽速 （Ar）： 83 升/秒
抽速： 90 升/秒
TURBOVAC 350 i/iX
5 种变体
抽速 （Ar）： 260 升/秒
抽速： 360 升/秒
TURBOVAC 450 i/iX
4 种变体
抽速 （Ar）： 400 升/秒
抽速： 440 升/秒
TURBOVAC 250 i/iX
4 种变体
抽速 （Ar）： 210 升/秒
抽速： 250 升/秒
TURBOVAC 850 i/iX
4 种变体
抽速 （Ar）： 655 升/秒
抽速： 850 升/秒
TURBOVAC 450 iR
2 种变体
TURBOVAC 950 i/iX
4 种变体
抽速 （Ar）： 840 升/秒
抽速： 925 升/秒
TURBOVAC 850 iR
2 种变体
TURBOVAC 1450 i
8 种变体
抽速 （Ar）： 1280 升/秒
抽速： 1390 升/秒
TURBOVAC 1350 i
8 种变体
抽速 （Ar）： 1150 升/秒
抽速： 1350 升/秒
TURBOVAC 90 iR
3 种变体
TURBOVAC 950 iR
2 种变体
TURBOVAC 350 iR
2 种变体
TURBOVAC 250 iR
2 种变体
Oerlikon Leybold MAGiNTEGRA 带磁力转子悬架的涡轮分子泵
准确性、精密度和可靠性合二为一！
TURBOVAC MAGiNTEGRA 是磁悬浮泵：适用于分析、环境、研究和具有挑战性的工业涂层应用的强大而紧凑的产品线。
高抽速和气体吞吐量，可缩短抽空时间，从而缩短设备循环时间。
5轴主动磁浮轴承和驱动系统，将高可靠性与安全高效运行相结合。
完全集成的转换器和电源：不再需要传统的机架式控制器和互连电缆。
出于安全原因，在断电的情况下，MAGiNTEGRA 驱动系统切换到发电机模式，以保持转子通过缓慢减速暂停。当电力恢复时，泵开始自动加速到正常速度。
MAGiNTEGRA 具有 IP 54 防护等级，使其成为恶劣工业应用环境中的理想泵;
这些磁力涡轮泵用于 10-1毫巴 （0.75 x 10-1托尔） 到 10-10毫巴 （0.75 x 10-10托尔）。空气的抽速从 300 l/s 到 2，200 l/s 不等。
TURBOVAC MAGiNTEGRA泵主要安装在需要以下领域的区域：
无噪音和无振动运行，
不含碳氢化合物，
免维护间隔长。
TURBOVAC MAG W 2200 iP
8 种变体
插座连接：DN 40 ISO-KF
抽速（N₂）： 2100 升/秒
TURBOVAC MAG W 1700 iP
8 种变体
插座连接：DN 40 ISO-KF
抽速（N₂）： 1610 升/秒
TURBOVAC MAG W 1600 iP
4 种变体
入口连接：DN 250 ISO-F
插座连接：DN 40 ISO-KF
TURBOVAC MAG W 1300 iP
8 种变体
插座连接：DN 40 ISO-KF
抽速（N₂）： 1100 升/秒
TURBOVAC MAG W 700 iP
2 种变体
插座连接：DN 25 ISO-KF
抽速（N₂）： 590 升/秒
TURBOVAC MAG W 600 iP
2 种变体
插座连接：DN 25 ISO-KF
抽速（N₂）： 550 升/秒
TURBOVAC MAG W 400 iP
2 种变体
插座连接：DN 16 ISO-KF
抽速（N₂）： 365 升/秒
TURBOVAC MAG W 300 iP
2 种变体
插座连接：DN 16 ISO-KF
抽速（N₂）： 300 升/秒
TURBOVAC MAG W 700 P
2 种变体
插座连接：DN 25 ISO-KF
抽速： 540 升/秒
TURBOVAC MAG W 600 P
2 种变体
插座连接：DN 25 ISO-KF
抽速： 520 升/秒
TURBOVAC MAG W 400 P
2 种变体
插座连接：DN 16 ISO-KF
抽速： 330 升/秒
TURBOVAC MAG W 300 P
2 种变体
插座连接：DN 16 ISO-KF
抽速（N₂）： 300 升/秒