Leybold GmbH

Oerlikon Leybold 涡轮分子真空泵

机械、混合和磁悬浮高真空泵

涡轮分子真空泵用于需要清洁高真空或超高真空的应用，例如核聚变的研究与开发，或涂层工业和分析仪器等工业领域。

 

原则上，涡轮分子泵是在壳体中快速旋转的涡轮机，其中涡轮机的级装有多个转子叶片。位于旋转转子叶片之间的是固定的定子盘，其叶片以相反的方向排列。

 

通过从旋转转子叶片到气体分子的动量传递，气体分子开始非定向热运动转变为从泵的入口法兰沿轴向前真空法兰的方向运动。

在分子流动范围内（即在压力低于 10-3毫巴 （0.75 x 10-3Torr）） 气体分子的平均自由程大于转子和定子叶片之间的间距（通常为零点几毫米）。相应地，分子主要与光学致密的转子叶片碰撞，从而产生高效的泵送作用。在层流（恒定）流量范围内（即压力超过 10-1毫巴 （0.75 x 10-1Torr））转子的效果因分子本身之间的频繁碰撞而受损。

因此，涡轮分子泵无法在大气压下泵送气体。

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC i

模块化涡轮分子真空泵系列，抽速从 90 到 1450 L/s。

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 90 i/iX

4 种变体

抽速 （Ar）： 83  L/s

抽速： 90  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 350 i/iX

5 种变体

抽速 （Ar）： 260  L/s

抽速： 360  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 450 i/iX

4 种变体

抽速 （Ar）： 400  L/s

抽速： 440  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 250 i/iX

4 种变体

抽速 （Ar）： 210  L/s

抽速： 250  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 850 i/iX

4 种变体

抽速 （Ar）： 655  L/s

抽速： 850  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 450 iR

2 种变体

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 950 i/iX

4 种变体

抽速 （Ar）： 840  L/s

抽速： 925  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 850 iR

2 种变体

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 1450 i

8 种变体

抽速 （Ar）： 1280  L/s

抽速： 1390  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 1350 i

8 种变体

抽速 （Ar）： 1150  L/s

抽速： 1350  L/s

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 90 iR

3 种变体

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 950 iR

2 种变体

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 350 iR

2 种变体

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC 250 iR

2 种变体